極限壓力 　 　　Pa

≤5×10^-5

  抽氣速率 L/s　

單泵

≥10000

≥24000

≥38000

擋板

≥8000

≥20000

≥32000

  臨界前級壓力　　Pa

≥40

  返油率 L/s

單泵

≤5×10^-3

擋板

≤5×10^-4

  加熱功率  　　　kW

6.9

15

24

  電源電壓  　　　V　

380

  冷卻水用量　　　L/h

750

1200

1500

  泵油牌號

KS-3或275#硅油

  泵油用量　　　　L

4.4～5

10

16

  推薦前級泵抽速　L/s

70

300

300

  外形尺寸 （L×W×H）

1065×680×1285

1700×1000×1955

2020×1290×2325

  重量 　　 　　kg

85

170