極限壓力 　 　　Pa

≤5×10^-5

  抽氣速率 　   　L/s

≥14000

≥26000

  臨界前級壓力　　Pa

≥40

≥50

  加熱功率  　　　kW

8.4

18

  電源電壓  　　　V　

380

  冷卻水用量　　　L/h

800

1000

  泵油牌號

KS-3或275#硅油

  泵油用量　　　　L

7

8～10

  推薦前級泵抽速　L/s

140

140

  外形尺寸 （L×W×H）

950×760×1070

1205×960×1460

  重量 　　 　　kg

300

450